美国LumaSense 光管型高温计的特点详细说明：

Photrix高温计
单晶蓝宝石用作光学镜头，又称光导管，可以da程度地发挥Photrix在侵蚀性的化学环境非接触测温的性能。该配置常用于真空处理室和反应器中。

美国LumaSense 光管型高温计详细说明：

PhotriX 系列高精度红外测温仪具有业界jia的信噪比. 能够以无yu伦比的精度测量较低的温度，以控制高价值工艺和研究应用. 采用蓝宝石光棒(所谓的 “光管”) 作为镜头收集来自目标的红外辐射. 光管镜头的优点是可提供较低的温度测量值，并易于集成到通常用于高级材料沉积（生长）和蚀刻（去除）工艺的真空反应器中.

光管型 Photrix 提供 4 种响应波长，具有以下特点:

低温测试能力 (详见下表)

选配件包括模拟模块 ( 4-20 mA 或 0-10V), 带镜头吹扫的保护套, 8通道模块。标准配置已包含所有必要的电缆，电源以及软件和文档.

典型应用

• • 30 至 670 °C ，波长 700-1650 nm

  • 70 至 110 °C ，波长 1550 nm

  • 210 至 1300 °C ，波长 900 nm

  • 220 至 1300 °C ，波长 880

  • 快速响应 (1ms)

  • 测量精度 +/- 1.5 °C 或读数 0.15% of reading

  • 重复精度 0.01 °C (see TN-828)

  • 半导体

  • CIGS太阳能薄膜电沉积

  • 非晶硅薄膜沉积

  • CZ 晶体生长

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